chemische Beständigkeit. CeramTec bietet hier z.B. Rubalit ® an. Aluminiumnitrid (AlN): Besonders wichtig [...] entsprechendes Produkt im Angebot. Siliziumkarbid (SiC): Hohe Härte, Verschleißfestigkeit, hohe Temperat [...] auf Prozessintegration bei der Herstellung von SiSiC-Platten für Halbleitermaschinen. Siliziumnitrid (Si